XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Никитов, Сергей Аполлонович

Директор

Институт радиотехники и электроники им. В.Н. Котельникова РАН
Россия, Москва