Логин:
Пароль:
Вход
XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе
Россия, Республика Бурятия, Кабанский район, с. Сухая, с 15 по 20 июля 2024 года
Информационное сообщение
Важные даты
Программный комитет
Дополнительная информация
Культурная программа
Участники
Доклады
Регистрация/Вход
Черняев, М. В.
Доклад
Горохов С.А.
*
,
Патюков С.И.
,
Черняев М.В.
,
Резванов А.А.
Низкотемпературное окисление кремния с использованием генератора озона
*
АО "НИИМЭ" (Зеленоград), Россия
К списку участников