Чхало, Николай Иванович

Список докладов

1. Пестов А.^*, Ахсахалян А.А.^**, Волков П.В.^*, Зорина М.В.^***, Лопатин А.Я.^*, Михайленко М.С.^****, Чернышев А.К.^*, Чхало Н.И.^*, Юнин П.А.^*****, Гордеев С.К.^******
   Алмазокарбидокремниевый композит “скелетон” с технологическим покрытием из поликристаллического кремния, как перспективный материал для подложек рентгеновских зеркал, работающих под мощными пучками СИ
   ^*ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
   ^**ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^***ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^****ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
   ^*****Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^******ЦНИИ Материалов (Санкт-Петербург), Россия
   
2. Михайленко М.С.^*, Зорина М.В.^**, Пестов А.^***, Чхало Н.И.^***
   Изучение формирующегося нарушенного слоя в монокристаллическом кремнии и его влияние на поведение шероховатости поверхности в процессе ионного травления
   ^*ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
   ^**ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^***ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия