Назад
Патюков, С. И.
Доклад
Горохов С.А.
*
,
Патюков С.И.
,
Черняев М.В.
,
Резванов А.А.
Низкотемпературное окисление кремния с использованием генератора озона
*
АО "НИИМЭ" (Зеленоград), Россия
К списку участников