Тарков, М. С.

Доклад

• Попов В.П.^*, Тарков М.С., Тысченко И.Е., Мяконьких А.В., Руденко К.В.
  Нigh-k КНИ структуры с ультратонкими слоями кремния, оксидов и нитридов металлов для энергоэффективной электроники
  ^*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия