Рудаков, Григорий Александрович

Доклад

• Горячев А.В.^*, Дудин А.А.^*, Кириленко Е.П.^*, Рудаков Г.А.^*
  Анализ межслойных границ раздела тонких пленок Ti и его соединений методом оже-электронной спектроскопии
  ^*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия