Горохов, Сергей Александрович

Доклад

• Горохов С.А.^*, Патюков С.И., Черняев М.В., Резванов А.А.
  Низкотемпературное окисление кремния с использованием генератора озона
  ^*АО "НИИМЭ" (Зеленоград), Россия