Кириленко, Елена Петровна

Список докладов

1. Горячев А.В.^*, Дудин А.А.^*, Кириленко Е.П.^*, Рудаков Г.А.^*
   Анализ межслойных границ раздела тонких пленок Ti и его соединений методом оже-электронной спектроскопии
   ^*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
   
2. Горячев А.В.^*, Кириленко Е.П.^*
   Определение концентрации фтора в тонких пленках фторсодержащего силикатного стекла
   ^*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия