Зорина М.В.*, Михайленко М.С.**, Пестов А.***, Перекалов А.А.* Формирование антиотражающей структуры на поверхности монокристаллического кремния ускоренными ионами инертных газов *ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия **ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия ***ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия