Михайленко, Михаил Сергеевич
Младший научный сотрудникИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN
Россия, Нижний Новгород
Список докладов
- Пестов А.*, Ахсахалян А.А.**, Волков П.В.*, Зорина М.В.***, Лопатин А.Я.*, Михайленко М.С.****, Чернышев А.К.*, Чхало Н.И.*, Юнин П.А.*****, Гордеев С.К.******
Алмазокарбидокремниевый композит “скелетон” с технологическим покрытием из поликристаллического кремния, как перспективный материал для подложек рентгеновских зеркал, работающих под мощными пучками СИ
*ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
**ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
***ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
****ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
*****Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
******ЦНИИ Материалов (Санкт-Петербург), Россия - Михайленко М.С.*, Зорина М.В.**, Пестов А.***, Чхало Н.И.***
Изучение формирующегося нарушенного слоя в монокристаллическом кремнии и его влияние на поведение шероховатости поверхности в процессе ионного травления
*ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
**ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
***ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия - Пестов А.*, Зорина М.В.**, Михайленко М.С.***, Чернышев А.К.*
Коррекция формы поверхности кристалла-монохроматора из монокристаллического кремния (110)
*ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
**ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
***ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия - Зорина М.В.*, Михайленко М.С.**, Пестов А.***, Перекалов А.А.*
Формирование антиотражающей структуры на поверхности монокристаллического кремния ускоренными ионами инертных газов
*ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
**ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
***ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия