Руденко, Константин Васильевич

Зам. директора по научной работе, Доктор физико-математических наук

Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Россия, Москва

Список докладов

  1. Попов В.П.*, Руденко К.В.**
    Нigh-k КНИ структуры с ультратонкими слоями кремния, оксидов и нитридов металлов для энергоэффективной электроники
    *Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
    **Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
  2. Руденко К.В.*, Антонов В.А.**, Попов В.П.**, Ломов А.А.***, Мяконьких А.В.***
    Свойства КНИ и КНС структур с High-K сегнетоэлектриком до и после FA - RTA обработок и утончения кремния термоокислением
    *Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
    **Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
    ***Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия

К списку участников