XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Бабаева, Юлия Андреевна

АО "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова"
Россия, Обнинск