Вход

XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Россия, Республика Бурятия, Кабанский район, с. Сухая, с 15 по 20 июля 2024 года

• Информационное сообщение
• Важные даты
• Программный комитет
• Дополнительная информация
• Культурная программа
• Участники
• Доклады
• Регистрация/Вход

Аношин, Олег Сергеевич

Ведущий инженер

АО НПП Салют
Россия, Нижний Новгород

Список докладов

1. Аношин О.С.^*
   Получение высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния из технического три-хлорсилана
   ^*АО НПП Салют (Нижний Новгород), Россия
   
2. Зайцев А.В.^*, Аношин О.С.^**
   Получение высокочистого поликристаллического кремния методом CVD из моносилана и высокоомного монокристаллического кремния методом БЗП
   ^*АО "НПП "Салют" (Нижний Новгород), Россия
   ^**АО НПП Салют (Нижний Новгород), Россия
   

К списку участников