Солтанович, Олег Александрович
Научный сотрудникИнститут проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН
http://www.ipmt-hpm.ac.ru
Россия, Черноголовка
Доклад
- Ковешников С.В.*, Солтанович О.А.*, Егоров В.К.
Влияние быстродиффундирующих примесей на процессы формирования инверсного слоя в МОП-структурах Al/SiO2/Si
*Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия