XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Осипов, Артём Арменакович

Заведующий лабораторией, Кандидат технических наук

Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Россия, Санкт-Петербург

Осипов А.А.^*
Технология формирования массива кремниевых структур в субмикронном диапазоне
^*Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого (Санкт-Петербург), Россия