Гейдт, Павел Викторович
Заведующий лабораторией, Кандидат физико-математических наукНовосибирский государственный университет
http://www.nsu.ru
Россия, 630090, Новосибирcк, ул. Пирогова, д.2
Телефон: +7 (383) 330 13 49, Факс: +7 (383) 333 24 37
Доклад
- Асеев А.Л.*, Гейдт П.В.**
Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
**Новосибирский государственный университет (Новосибирcк), Россия