Асеев, Александр Леонидович
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
http://www.isp.nsc.ru/
Россия, 630090, Новосибирск, пр. ак. Лаврентьева, 13
Телефон: +7(383) 333-27-66, Факс: +7(383) 333-27-71
Доклад
- Асеев А.Л.*, Гейдт П.В.**
Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
**Новосибирский государственный университет (Новосибирcк), Россия