XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Карасев, Платон Александрович

Профессор, Доктор физико-математических наук

С.-Петербургский Политехнический университет Петра Великого
Россия, Санкт-Петербург

Карасев П.А.^*, Карасев К.П.^*, Титов А.И.^*, Стрижкин Д.А.^*, Федоренко Е.Д.^*, Пуха В.Е.^**
Модификация поверхности кремния облучением ускоренными ионами С60
^*С.-Петербургский Политехнический университет Петра Великого (Санкт-Петербург), Россия
^**ФИЦ проблем химической физики и медицинской химии РАН (Черноголовка), Россия