Поляков, Максим Викторовоич

Младший научный сотрудник

Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Россия, Москва

Список докладов

  1. Поляков М.В.*, Волкова Л.С.**, Ковалев Д.С., Рогачев А.С.
    Влияния технологических параметров магнетронного распыления на структуру и свойства пленок высокоэн-тропийного сплава системы CoCrFeNiTi
    *Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
    **Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
  2. Волкова Л.С.*, Гришин Т.С.**, Поляков М.В.***
    Особенности подготовки образцов современных СБИС для ПЭМ-исследований
    *Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
    **Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
    ***Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия

К списку участников