Мяконьких, Андрей Валерьевич
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Россия, Москва
Доклад
- Руденко К.В.*, Антонов В.А.**, Попов В.П.**, Ломов А.А.***, Мяконьких А.В.***
Свойства КНИ и КНС структур с High-K сегнетоэлектриком до и после FA - RTA обработок и утончения кремния термоокислением
*Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
**Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
***Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия