XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Россия, Республика Бурятия, Кабанский район, с. Сухая, с 15 по 20 июля 2024 года

• Информационное сообщение
• Важные даты
• Программный комитет
• Дополнительная информация
• Культурная программа
• Участники
• Доклады
• Регистрация/Вход

Ковалев, Д. С.

Доклад

• Поляков М.В.^*, Волкова Л.С.^**, Ковалев Д.С., Рогачев А.С.
  Влияния технологических параметров магнетронного распыления на структуру и свойства пленок высокоэн-тропийного сплава системы CoCrFeNiTi
  ^*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
  ^**Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия