Кириленко, Елена Петровна
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Россия, Москва
Список докладов
- Горячев А.В.*, Дудин А.А.*, Кириленко Е.П.*, Рудаков Г.А.*
Анализ межслойных границ раздела тонких пленок Ti и его соединений методом оже-электронной спектроскопии
*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия - Горячев А.В.*, Кириленко Е.П.*
Определение концентрации фтора в тонких пленках фторсодержащего силикатного стекла
*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия