Рудаков, Григорий Александрович
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Россия, Москва
Доклад
- Горячев А.В.*, Дудин А.А.*, Кириленко Е.П.*, Рудаков Г.А.*
Анализ межслойных границ раздела тонких пленок Ti и его соединений методом оже-электронной спектроскопии
*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия