Перекалов, Александр Алексеевич
ИФМ РАН
Россия, Нижний Новгород
Доклад
- Зорина М.В.*, Михайленко М.С.**, Пестов А.***, Перекалов А.А.*
Формирование антиотражающей структуры на поверхности монокристаллического кремния ускоренными ионами инертных газов
*ИФМ РАН (Нижний Новгород), Россия
**ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия
***ИНСТИТУТ ФИЗИКИ МИКРОСТРУКТУР РАН - филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН) EN (Нижний Новгород), Россия