Мяконьких, А. В.
Доклад
- Тихоненко Ф.В., Антонов В.А., Калугин А.П., Попов В.П.*, Тысченко И.Е., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Тихоненко Ф.В.*
Стабильность сегнетоэлектрических свойств нанослоев оксидов гафния-циркония с алюминием в МОП транзисторах
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия