XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Россия, Республика Бурятия, Кабанский район, с. Сухая, с 15 по 20 июля 2024 года

• Информационное сообщение
• Важные даты
• Программный комитет
• Дополнительная информация
• Культурная программа
• Участники
• Доклады
• Регистрация/Вход

Егоров, В. К.

Доклад

• Ковешников С.В.^*, Солтанович О.А.^*, Егоров В.К.
  Влияние быстродиффундирующих примесей на процессы формирования инверсного слоя в МОП-структурах Al/SiO2/Si
  ^*Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия