XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Россия, Республика Бурятия, Кабанский район, с. Сухая, с 15 по 20 июля 2024 года

• Информационное сообщение
• Важные даты
• Программный комитет
• Дополнительная информация
• Культурная программа
• Участники
• Доклады
• Регистрация/Вход

Черняев, М. В.

Доклад

• Горохов С.А.^*, Патюков С.И., Черняев М.В., Резванов А.А.
  Низкотемпературное окисление кремния с использованием генератора озона
  ^*АО "НИИМЭ" (Зеленоград), Россия