Ким К.Б.   Черненко С.С.   Нифталиев С.И.   Чукавин А.И.   Леньшин А.С.  

Осаждение пленки SnOx на пористом кремнии методом вакуумно-термического напыления

Докладчик: Леньшин А.С.