Абросимова Н.Д. Большакова В.К. Гаранин А.Г. Бобров А.И. Шоболов Е.Л. Оболенский С.В.
Модифицирование зарядовых свойств диэлектрических слоев в составе полупроводниковых композиций на основе кремния с помощью обработки поверхности в N2 и O2 плазме
Докладчик: Абросимова Н.Д.
К списку докладов