Зайцев, Андрей Васильевич
ИнженерАО "НПП "Салют"
Россия, Нижний Новгород
Доклад
- Зайцев А.В.*, Аношин О.С.**
Получение высокочистого поликристаллического кремния методом CVD из моносилана и высокоомного монокристаллического кремния методом БЗП
*АО "НПП "Салют" (Нижний Новгород), Россия
**АО НПП Салют (Нижний Новгород), Россия