Гришин, Тимофей Сергеевич
Младший научный сотрудникИнститут нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Россия, Москва
Список докладов
- Волкова Л.С.*, Гришин Т.С.**, Поляков М.В.***
Особенности подготовки образцов современных СБИС для ПЭМ-исследований
*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
**Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
***Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия - Гришин Т.С.*, Волкова Л.С.**
Формирования массивов Ag наночастиц на поверхности SiO2: АСМ-исследование
*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
**Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия