Шоболов, Евгений Львович
Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики
Россия, Саров
Доклад
- Абросимова Н.Д.*, Большакова В.К.**, Гаранин А.Г.***, Бобров А.И., Шоболов Е.Л.*, Оболенский С.В.**
Модифицирование зарядовых свойств диэлектрических слоев в составе полупроводниковых композиций на основе кремния с помощью обработки поверхности в N2 и O2 плазме
*Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (Саров), Россия
**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
***ГОУ ВПО Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева (Нижний Новгород), Россия