Оболенский, Сергей Владимирович
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
http://www.unn.ru/
Россия, Нижний Новгород
Список докладов
- Абросимова Н.Д.*, Пузанов А.С.**, Дроздов М.Н.***, Юнин П.А.***, Оболенский С.В.****
Влияние дозы водорода на мгновенную и долговременную релаксацию электрофизических характеристик структур "кремний на изоляторе" после ионизирующих воздействий различной природы
*Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (Саров), Россия
**Российский федеральный ядерный центр-Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (Саров), Россия
***Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
****Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия - Абросимова Н.Д.*, Большакова В.К.**, Гаранин А.Г.***, Бобров А.И., Шоболов Е.Л.*, Оболенский С.В.**
Модифицирование зарядовых свойств диэлектрических слоев в составе полупроводниковых композиций на основе кремния с помощью обработки поверхности в N2 и O2 плазме
*Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (Саров), Россия
**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
***ГОУ ВПО Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева (Нижний Новгород), Россия