Поляков, Максим Викторовоич
Младший научный сотрудник
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Россия, Москва
Список докладов
- Поляков М.В.*, Волкова Л.С.**, Ковалев Д.С., Рогачев А.С.
Влияния технологических параметров магнетронного распыления на структуру и свойства пленок высокоэн-тропийного сплава системы CoCrFeNiTi
*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
**Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
- Волкова Л.С.*, Гришин Т.С.**, Поляков М.В.***
Особенности подготовки образцов современных СБИС для ПЭМ-исследований
*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
**Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
***Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
К списку участников