Бобров, А. И.

Доклад

• Абросимова Н.Д.^*, Большакова В.К.^**, Гаранин А.Г.^***, Бобров А.И., Шоболов Е.Л.^*, Оболенский С.В.^**
  Модифицирование зарядовых свойств диэлектрических слоев в составе полупроводниковых композиций на основе кремния с помощью обработки поверхности в N2 и O2 плазме
  ^*Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (Саров), Россия
  ^**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
  ^***ГОУ ВПО Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева (Нижний Новгород), Россия