Назад
Зайцев, Андрей Васильевич
Инженер
АО "НПП "Салют"
Россия, Нижний Новгород
Доклад
Зайцев А.В.
*
,
Аношин О.С.
**
Получение высокочистого поликристаллического кремния методом CVD из моносилана и высокоомного монокристаллического кремния методом БЗП
*
АО "НПП "Салют" (Нижний Новгород), Россия
**
АО НПП Салют (Нижний Новгород), Россия
К списку участников