Назад
Ковешников, Сергей Викторович
Ведущий научный сотрудник, Кандидат физико-математических наук
Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН
http://www.ipmt-hpm.ac.ru
Россия, Черноголовка
Доклад
Ковешников С.В.
*
,
Солтанович О.А.
*
,
Егоров В.К.
Влияние быстродиффундирующих примесей на процессы формирования инверсного слоя в МОП-структурах Al/SiO2/Si
*
Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
К списку участников