Аношин, Олег Сергеевич
Ведущий инженер
АО НПП Салют
Россия, Нижний Новгород
Список докладов
- Аношин О.С.*
Получение высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния из технического три-хлорсилана
*АО НПП Салют (Нижний Новгород), Россия
- Зайцев А.В.*, Аношин О.С.**
Получение высокочистого поликристаллического кремния методом CVD из моносилана и высокоомного монокристаллического кремния методом БЗП
*АО "НПП "Салют" (Нижний Новгород), Россия
**АО НПП Салют (Нижний Новгород), Россия
К списку участников