Спесивцев, Е. В.

Доклад

• Тысченко И.Е.^*, Попов И.В.^*, Антонов В.А.^*, Спесивцев Е.В.
  Анодное окисление структур кремний-на-изоляторе
  ^*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия