Назад
Большакова, Виктория Константиновна
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
http://www.unn.ru/
Россия, Нижний Новгород
Доклад
Абросимова Н.Д.
*
,
Большакова В.К.
**
,
Гаранин А.Г.
***
,
Бобров А.И.
,
Шоболов Е.Л.
*
,
Оболенский С.В.
**
Модифицирование зарядовых свойств диэлектрических слоев в составе полупроводниковых композиций на основе кремния с помощью обработки поверхности в N2 и O2 плазме
*
Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (Саров), Россия
**
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
***
ГОУ ВПО Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева (Нижний Новгород), Россия
К списку участников