Ковалев, Д. С.

Доклад

• Поляков М.В.^*, Волкова Л.С.^**, Ковалев Д.С., Рогачев А.С.
  Влияния технологических параметров магнетронного распыления на структуру и свойства пленок высокоэн-тропийного сплава системы CoCrFeNiTi
  ^*Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия
  ^**Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва), Россия