XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Воронова, Наталья Владимировна

Ведущий научный сотрудник, Кандидат физико-математических наук

АО "НИИМЭ"
Россия, Москва

Воронова Н.В.^*, Анисимкин В.И., Горнев Е.С.^**, Тельминов О.А.^***
Кремниевый датчик микрокапель летучих жидкостей
^*АО "НИИМЭ" (Москва), Россия
^**Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (Москва, Зеленоград), Россия
^***АО "НИИМЭ" (Москва), Россия