Абросимова Н.Д.   Большакова В.К.   Гаранин А.Г.   Бобров А.И.   Шоболов Е.Л.   Оболенский С.В.  

Модифицирование зарядовых свойств диэлектрических слоев в составе полупроводниковых композиций на основе кремния с помощью обработки поверхности в N2 и O2 плазме

Докладчик: Абросимова Н.Д.