Рогожин, Александр Евгеньевич
Заведующий лабораторией, Кандидат физико-математических наукФизико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
http://https://ftian.ru/
Россия, 117218, Москва, Россия, Москва, Нахимовский проспект, д.36, к.1
Телефон: +7 (499) 129-54-92, Факс: +7 (499) 125-38-26
Доклад
- Жанаев Э.Д.*, Антонов В.А.*, Калугин А.П.*, Попов В.П.*, Лукьянова И.Ю.**, Мяконьких A.В., Рогожин А.Е.***, Руденко К.В.****
КНИ нанопроволочные транзисторы до и после химического утончения кремния и его диоксида
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
**Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
***Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук (Москва), Россия
****Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия