Назад
Ломов, Андрей Александрович
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Россия, Москва
Доклад
Руденко К.В.
*
,
Антонов В.А.
**
,
Попов В.П.
**
,
Ломов А.А.
***
,
Мяконьких А.В.
***
Свойства КНИ и КНС структур с High-K сегнетоэлектриком до и после FA - RTA обработок и утончения кремния термоокислением
*
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
**
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
***
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
К списку участников