Мяконьких, Андрей Валерьевич

Доклад

• Руденко К.В.^*, Антонов В.А.^**, Попов В.П.^**, Ломов А.А.^***, Мяконьких А.В.^***
  Свойства КНИ и КНС структур с High-K сегнетоэлектриком до и после FA - RTA обработок и утончения кремния термоокислением
  ^*Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
  ^**Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
  ^***Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия