Вход

XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Россия, Республика Бурятия, Кабанский район, с. Сухая, с 15 по 20 июля 2024 года

• Информационное сообщение
• Важные даты
• Программный комитет
• Дополнительная информация
• Культурная программа
• Участники
• Доклады
• Регистрация/Вход

Лукьянова, Ирина Юрьевна

Ведущий инженер

Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Россия, Москва

Доклад

• Жанаев Э.Д.^*, Антонов В.А.^*, Калугин А.П.^*, Попов В.П.^*, Лукьянова И.Ю.^**, Мяконьких A.В., Рогожин А.Е.^***, Руденко К.В.^****
  КНИ нанопроволочные транзисторы до и после химического утончения кремния и его диоксида
  ^*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
  ^**Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
  ^***Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук (Москва), Россия
  ^****Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (Москва), Россия
  

К списку участников