Руденко К.В.   Антонов В.А.   Попов В.П.   Ломов А.А.   Мяконьких А.В.  

Свойства КНИ и КНС структур с High-K сегнетоэлектриком до и после FA - RTA обработок и утончения кремния термоокислением

Докладчик: Руденко К.В.